SECS/GEM-Gateway

SECS/GEM (SEMI Equipment Communications Standard/Generic Equipment Model) basiert auf drei SEMI-Standards E5-0224, E30-0224 und E37-00-0222, wobei die Kommunikation zwischen Halbleiterausrüstung und Host-System über TCP/IP erfolgt.

SECS-Gerät

Ein Gateway-Manager kann viele verschiedene Geräteinstanzen verwalten. Ein Gerät verbindet sich mit einem Host. Daher kann ein Gateway-Manager Verbindungen zu mehreren Hosts verwalten. Jeder einzelne Host verbindet sich jedoch immer über den Gateway-Manager mit nur einer bestimmten Geräteinstanz, die der Manager aktuell verwaltet.

Der Kommunikationsstandard ist der SECS-II-Standard (E5), der die Nachrichten definiert, die zwischen Gerät (WinCC OA-SECS-Gateway-Manager-Geräteinstanz) und Host gesendet werden.

WinCC OA-Gateway-Manager

Eine Verbindung zu einem Host kann HSMS (HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES) aktiv sein, was einem TCP-Client entspricht, oder HSMS passiv, was einem TCP-Server entspricht. Der Modus einer Verbindung kann im Verbindungskonfigurationspanel umgeschaltet werden. In WinCC OA werden Daten zwischen Host und Gerät (WinCC OA-Gateway-Manager) über JSON-Strings ausgetauscht. Die Definition der JSON-Nachrichtenstruktur ist dieselbe wie für den SECS-Treiber und kann im Kapitel Nachrichtenstruktur nachgelesen werden.

Unterstützte GEM (SEMI E30) Anforderungen

Eine Liste der GEM-Fähigkeiten und grundlegenden GEM-Anforderungen finden Sie in SEMI E30-0224 Abschnitt 11.

Die folgenden GEM-Fähigkeiten werden vom SECS-Gateway ohne Skripterstellung oder Implementierung unterstützt:

Grundlegende GEM-Anforderungen:

  • State Models (Communication, Control)
  • Equipment Processing States
  • Host-Initiated S1, F13/14 Scenario
  • Event Notification
  • On-line Identification
  • Error Messages
  • Documentation
  • Control (Operator) Initiated

Weitere unterstützte GEM-Fähigkeiten:

  • Control (Host) Initiated
  • Establish Communications
  • Status Data Collection (without Namelist Request)
  • Equipment Constants (without Namelist Request)

Weitere GEM-Fähigkeiten können über die HostInterface.FromHost/ToHost DPEs und CTRL-Skripte implementiert werden.

Sicherheit

Wichtig:
Die TCP/IP-Kommunikation zwischen Host und Gerät ist per Definition der SEMI-Standards nicht verschlüsselt. Daher sollte dieser Gateway-Manager nur in sicheren Netzwerken und Umgebungen verwendet werden!